Verfahren und Vorrichtung zum Verbinden eines Optischen Elementes mit einer Fassung

WO2008049574 Art A2 2. Mai 2008

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008049574
Aktenzeichen: EP07819240
Anmeldetag: 23. Oktober 2007
Veröffentlichung: 2. Mai 2008
Rechtsraum: WO
IPC: C03C27/04G02B7/02G03F7/20B23K1/005

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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