Apparatus for producing single crystal and method for producing single crystal

WO2008050524 Art A1 2. Mai 2008

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008050524
Aktenzeichen
EP07792708
Anmeldetag
20. August 2007
Veröffentlichung
2. Mai 2008
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06C30B15/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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