Power supply and microwave generator using same

WO2008050619 Art A1 2. Mai 2008

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008050619
Aktenzeichen: EP07829689
Anmeldetag: 12. Oktober 2007
Veröffentlichung: 2. Mai 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H02M7/48H02M3/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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