Three-dimensional nanoscale metrology using firat probe

WO2008052065 Art A2 2. Mai 2008

Anmelder: GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008052065
Aktenzeichen
EP07863476
Anmeldetag
24. Oktober 2007
Veröffentlichung
2. Mai 2008
Rechtsraum
WO
IPC
B23Q17/09G01B5/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Georgia Tech Research Corporation

Die Georgia Tech Research Corporation ist die Einrichtung des Georgia Institute of Technology in den USA, die Forschungsverträge verwaltet und geistiges Eigentum der Universität lizenziert.

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