Semiconductor inspecting apparatus and semiconductor inspecting method

WO2008053524 Art A1 8. Mai 2008

Anmelder: TOPCON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008053524
Aktenzeichen: EP06822644
Anmeldetag: 31. Oktober 2006
Veröffentlichung: 8. Mai 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01B15/00G01N27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOPCON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Topcon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Topcon entwickelt Präzisionsmessgeräte, GPS- und Vermessungstechnik sowie optische Instrumente für Bauwesen, Landwirtschaft und Augenheilkunde.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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