Electrostatic chuck device

WO2008053934 Art A1 8. Mai 2008

Anmelder: Tomoegawa Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008053934
Aktenzeichen: EP07830986
Anmeldetag: 31. Oktober 2007
Veröffentlichung: 8. Mai 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tomoegawa Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tomoegawa

Tomoegawa ist ein japanischer Hersteller von Spezialpapieren und Funktionsmaterialien mit Sitz in Tokio, der unter anderem Materialien für Elektronik und optische Anwendungen produziert. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik- und Fototechnik sowie Halbleiter- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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