3-dimensional differential pumping system and method thereof

WO2008054093 Art A1 8. Mai 2008

Anmelder: Korea Basic Science Institute 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008054093
Aktenzeichen: EP07833613
Anmeldetag: 26. Oktober 2007
Veröffentlichung: 8. Mai 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G01N27/62

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Basic Science Institute
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Basic Science Institute

Das Korea Basic Science Institute ist eine staatliche südkoreanische Forschungseinrichtung mit Sitz in Daejeon, die wissenschaftliche Geräte und Analytik für andere Forschungseinrichtungen bereitstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Halbleiter- und Elektronikbauelemente. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2002 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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