Shape controlled growth of nanostructured films and objects

WO2008054379 Art A2 8. Mai 2008

Anmelder: Massachusetts Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008054379
Aktenzeichen
EP06851906
Anmeldetag
25. Oktober 2006
Veröffentlichung
8. Mai 2008
Rechtsraum
WO
IPC
H01L29/06H01L21/469
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Massachusetts Institute of Technology
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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