Electrostatic nanolithography probe actuation device and method
WO2008054476
Art A2
8. Mai 2008
Anmelder: THE BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008054476
- Aktenzeichen
- EP07861262
- Anmeldetag
- 14. März 2007
- Veröffentlichung
- 8. Mai 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G12B21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- THE BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Board of Trustees of the University of Illinois
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