System and method for providing a nanoscale, highly selective, and thermally resilient silicon, germanium, or silicon-germanium etch-stop

WO2008054957 Art A1 8. Mai 2008

Anmelder: Atmel Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008054957
Aktenzeichen: EP07853850
Anmeldetag: 8. Oktober 2007
Veröffentlichung: 8. Mai 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/30H01L23/58

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Atmel Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Atmel

Atmel war ein US-amerikanischer Halbleiterhersteller für Mikrocontroller und wurde 2016 von Microchip Technology übernommen. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt um Datenspeicherung und Elektronik. Anmeldungen liegen im Zeitraum 2000 bis 2021.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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