Method and device for forming silicon dot and silicon dot and method and device for forming substrate with insulating film

WO2008056556 Art A1 15. Mai 2008

Anmelder: Nissin Electric Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008056556
Aktenzeichen
EP07830726
Anmeldetag
29. Oktober 2007
Veröffentlichung
15. Mai 2008
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/205H01L21/8247H01L27/115H01L29/788H01L29/792
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nissin Electric Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissin Electric

Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.

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