Probe card for inspecting solid state image sensor

WO2008056627 Art A1 15. Mai 2008

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008056627
Aktenzeichen
EP07831206
Anmeldetag
5. November 2007
Veröffentlichung
15. Mai 2008
Rechtsraum
WO
IPC
G01R1/073G01R31/26H01L21/66H01L27/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tokyo Electron Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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