Method of neutralizing developer waste liquid containing tetraalkylammonium hydroxide

WO2008056671 Art A1 15. Mai 2008

Anmelder: Tokuyama Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008056671
Aktenzeichen: EP07831299
Anmeldetag: 6. November 2007
Veröffentlichung: 15. Mai 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/30C02F1/66G03F7/32H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokuyama Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokuyama

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.

725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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