Holding unit, position detecting system and exposure system, moving method, position detecting method, exposure method, adjusting method of detection system, and device producing method

WO2008056735 Art A1 15. Mai 2008

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008056735
Aktenzeichen: EP07831433
Anmeldetag: 8. November 2007
Veröffentlichung: 15. Mai 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

3.320 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von