Growth and manufacture of reduced dislocation density and free-standing aluminum nitride films by hydride vapor phase epitaxy

WO2008057454 Art A2 15. Mai 2008

Anmelder: The Regents of the University of California, Japan Science and Technology Agency 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008057454
Aktenzeichen
EP07861677
Anmeldetag
2. November 2007
Veröffentlichung
15. Mai 2008
Rechtsraum
WO
IPC
C01B21/072
Offizieller Volltext

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Firmen
The Regents of the University of California
Japan Science and Technology Agency
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 University of California

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