System and method for providing a nanoscale, highly selective, and thermally resilient boron etch-stop

WO2008057692 Art A2 15. Mai 2008

Anmelder: Atmel Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008057692
Aktenzeichen: EP07844002
Anmeldetag: 9. Oktober 2007
Veröffentlichung: 15. Mai 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/31H01L31/0392

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Atmel Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Atmel

Atmel war ein US-amerikanischer Halbleiterhersteller für Mikrocontroller und wurde 2016 von Microchip Technology übernommen. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt um Datenspeicherung und Elektronik. Anmeldungen liegen im Zeitraum 2000 bis 2021.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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