A Nanoscale, Highly Selective, Thermally Resilient Carbon Etch-Stop

WO2008057695 Art A1 15. Mai 2008

Anmelder: ATMEL CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008057695
Aktenzeichen: EP07853884
Anmeldetag: 9. Oktober 2007
Veröffentlichung: 15. Mai 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/331

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ATMEL CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Atmel

Atmel war ein US-amerikanischer Halbleiterhersteller für Mikrocontroller und wurde 2016 von Microchip Technology übernommen. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt um Datenspeicherung und Elektronik. Anmeldungen liegen im Zeitraum 2000 bis 2021.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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