Host control device, slave control device, screen operation right giving method, and storage medium containing screen operation right giving program

WO2008059921 Art A1 22. Mai 2008

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008059921
Aktenzeichen: EP07831913
Anmeldetag: 15. November 2007
Veröffentlichung: 22. Mai 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G05B9/02G05B23/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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