Electron beam irradiation system

WO2008062670 Art A1 29. Mai 2008

Anmelder: Hamamatsu Photonics K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008062670
Aktenzeichen: EP07831339
Anmeldetag: 7. November 2007
Veröffentlichung: 29. Mai 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G21K5/04B01J19/12G01T1/24H01J37/244H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hamamatsu Photonics K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hamamatsu Photonics

Japanisches Unternehmen für Photonik mit Sitz in Hamamatsu, spezialisiert auf Photodetektoren, Bildsensoren, Laser und optische Messtechnik für Wissenschaft und Industrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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