Reflective optical system for a photolithography scanner field projector

WO2008063825 Art A1 29. Mai 2008

Anmelder: Intel Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008063825
Aktenzeichen: EP07863625
Anmeldetag: 29. Oktober 2007
Veröffentlichung: 29. Mai 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G02B27/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Intel Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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