Movable phase step micro mirror and a method for its manufacture

WO2008064880 Art A1 5. Juni 2008

Anmelder: MICRONIC LASER SYSTEMS AB, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V. 🇸🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008064880
Aktenzeichen: EP07856290
Anmeldetag: 28. November 2007
Veröffentlichung: 5. Juni 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MICRONIC LASER SYSTEMS AB
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V.
Land: 🇸🇪 Schweden

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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