Self aligned multi turn type apparatus for manufacturing thin film tape

WO2008066215 Art A1 5. Juni 2008

Anmelder: Korea Institute Of Machinery & Materials 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008066215
Aktenzeichen
EP06824031
Anmeldetag
8. Dezember 2006
Veröffentlichung
5. Juni 2008
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Korea Institute Of Machinery & Materials
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Korea Institute of Machinery & Materials

Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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