Zero Motion Contact Actuation
WO2008067129
Art A2
5. Juni 2008
Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008067129
- Aktenzeichen
- EP07864103
- Anmeldetag
- 8. November 2007
- Veröffentlichung
- 5. Juni 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01R31/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Electro Scientific Industries, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Electro Scientific Industries
Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.
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