Piezoelektrische Sensoranordnung mit Dünnschichtscherwellenresonator basierend auf Epitaktisch Gewachsenen Piezoelektrischen Schichten

WO2008068011 Art A1 12. Juni 2008

Anmelder: Albert-Ludwigs-Universität Freiburg 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008068011
Aktenzeichen: EP07856391
Anmeldetag: 5. Dezember 2007
Veröffentlichung: 12. Juni 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L41/113G01N27/00H03H9/54

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Anmelder

Firma: Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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