Defect detecting device, defect detecting method, information processing device, information processing method, and program therefor

WO2008068896 Art A1 12. Juni 2008

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008068896
Aktenzeichen: EP07828114
Anmeldetag: 30. November 2007
Veröffentlichung: 12. Juni 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/956G01B11/30G06T1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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