Thin film manufacturing method and hexagonal piezoelectric thin film manufactured by the method

WO2008069028 Art A1 12. Juni 2008

Anmelder: Omron Corporation, Doshisya University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008069028
Aktenzeichen: EP07832375
Anmeldetag: 22. November 2007
Veröffentlichung: 12. Juni 2008
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34C23C14/08C30B29/16H01L41/18H01L41/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Omron Corporation
Doshisya University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Omron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Kyoto. Omron entwickelt Automatisierungstechnik, Steuerungen, Sensoren und Robotik für die Industrie sowie elektronische Bauteile und medizintechnische Geräte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von