A stacked silicon-germanium nanowire structure and a method of forming the same

WO2008069765 Art A1 12. Juni 2008

Anmelder: Agency for Science, Technology And Research 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008069765
Aktenzeichen: EP07852290
Anmeldetag: 7. Dezember 2007
Veröffentlichung: 12. Juni 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/336H01L21/20B82B3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Agency for Science, Technology And Research
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 Agency for Science, Technology and Research

Staatliche Forschungsorganisation Singapurs (bekannt als A*STAR), zuständig für angewandte Forschung in Biomedizin, Physik und Ingenieurwissenschaften. Fördert Technologietransfer zwischen Wissenschaft und Industrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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