Improved electrolyte formulation for electrochemical mechanical planarization

WO2008072207 Art A1 19. Juni 2008

Anmelder: L'air Liquide-societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008072207
Aktenzeichen: EP07849479
Anmeldetag: 13. Dezember 2007
Veröffentlichung: 19. Juni 2008
Rechtsraum: WO
IPC: C09G1/00H01L21/321

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'air Liquide-societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von