Method of coating

WO2008074064 Art A1 26. Juni 2008

Anmelder: Commonwealth Scientific and Industrial Research Organisation, Monash University 🇦🇺

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008074064
Aktenzeichen: EP07845389
Anmeldetag: 18. Dezember 2007
Veröffentlichung: 26. Juni 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/28B05C19/04H01L41/047B05B7/14B05D1/12B05C19/00H01L21/283

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Commonwealth Scientific and Industrial Research Organisation
Monash University
Land: 🇦🇺 Australien

🇦🇺 CSIRO

Australische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Canberra, tätig in einem breiten Spektrum wissenschaftlicher Disziplinen von Agrarwissenschaft über Materialforschung bis Astronomie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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