Improving adhesion of diffusion barrier on cu containing interconnect element

WO2008074672 Art A1 26. Juni 2008

Anmelder: NXP B.V., STMicroelectronics (Crolles 2) SAS 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008074672
Aktenzeichen
EP07857302
Anmeldetag
7. Dezember 2007
Veröffentlichung
26. Juni 2008
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/321H01L21/768H01L23/532
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NXP B.V.
STMicroelectronics (Crolles 2) SAS
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 NXP Semiconductors

Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.

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