Microactuator

WO2008075612 Art A1 26. Juni 2008

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008075612
Aktenzeichen
EP07850565
Anmeldetag
13. Dezember 2007
Veröffentlichung
26. Juni 2008
Rechtsraum
WO
IPC
H02N1/00B81B3/00G02B26/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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