Method for synthesis of hyperbranched polymer, hyperbranched polymer, resist composition, semiconductor integrated circuit, and method for production of semiconductor integrated circuit
WO2008078660
Art A1
3. Juli 2008
Anmelder: Lion Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008078660
- Aktenzeichen
- EP07851004
- Anmeldetag
- 20. Dezember 2007
- Veröffentlichung
- 3. Juli 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C08G61/02B82B3/00G03F7/039H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lion Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Lion Corporation
Japanischer Hersteller von Konsumgütern wie Waschmitteln, Kosmetik und Mundhygieneprodukten mit Sitz in Tokio.
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