Substrate processing system, control apparatus, setting information monitoring method and storage medium having setting information monitoring program stored therein

WO2008078690 Art A1 3. Juli 2008

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008078690
Aktenzeichen: EP07859967
Anmeldetag: 21. Dezember 2007
Veröffentlichung: 3. Juli 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G05B9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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