Catadioptric projection objective with tilted deflecting mirrors, projection exposure apparatus, projection exposure method, and mirror

WO2008080534 Art A1 10. Juli 2008

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008080534
Aktenzeichen: EP07856687
Anmeldetag: 13. Dezember 2007
Veröffentlichung: 10. Juli 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G02B17/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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