Method of designing minute flow rate controller with entrance throttle groove
WO2008081530
Art A1
10. Juli 2008
Anmelder: Fujikin Incorporated, Sekoguchi, Kotohiko 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008081530
- Aktenzeichen
- EP06843583
- Anmeldetag
- 28. Dezember 2006
- Veröffentlichung
- 10. Juli 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F16K3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Fujikin Incorporated
Sekoguchi, Kotohiko - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujikin
Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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