Pressure wave generator and temperature controlling method thereof

WO2008081706 Art A1 10. Juli 2008

Anmelder: Tokyo Electron Limited, National University Corporation Tokyo University of Agriculture and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008081706
Aktenzeichen: EP07850736
Anmeldetag: 17. Dezember 2007
Veröffentlichung: 10. Juli 2008
Rechtsraum: WO
IPC: B06B1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
National University Corporation Tokyo University of Agriculture and Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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