Process for synthesis of hyperbranched polymer, hyperbranched polymer, resist compositions, semiconductor integrated circuits, and process for production of semiconductor integrated circuits

WO2008081746 Art A1 10. Juli 2008

Anmelder: Lion Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008081746
Aktenzeichen
EP07851005
Anmeldetag
20. Dezember 2007
Veröffentlichung
10. Juli 2008
Rechtsraum
WO
IPC
C08G61/02B82B3/00G03F7/039H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Lion Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Lion Corporation

Japanischer Hersteller von Konsumgütern wie Waschmitteln, Kosmetik und Mundhygieneprodukten mit Sitz in Tokio.

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