Alicyclic structure-containing chloromethyl ether, polymerizable monomer for photoresist, and method for producing the same

WO2008081768 Art A1 10. Juli 2008

Anmelder: Idemitsu Kosan Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008081768
Aktenzeichen
EP07860026
Anmeldetag
25. Dezember 2007
Veröffentlichung
10. Juli 2008
Rechtsraum
WO
IPC
C07D307/00C07D307/32C07D493/18C08F20/28G03F7/039H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Idemitsu Kosan Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Idemitsu Kosan

Japanisches Energie- und Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Aktiv in Mineralölverarbeitung, petrochemischen Produkten, Schmierstoffen sowie Materialien für organische Leuchtdioden (OLED).

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