Etching with improved control of critical feature dimensions at the bottom of thick layers

WO2008084365 Art A2 17. Juli 2008

Anmelder: NXP B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008084365
Aktenzeichen
EP07849530
Anmeldetag
31. Dezember 2007
Veröffentlichung
17. Juli 2008
Rechtsraum
WO
IPC
B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NXP B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 NXP Semiconductors

Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.

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