Electron gun and electron beam exposure device

WO2008084537 Art A1 17. Juli 2008

Anmelder: Advantest Corporation, Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008084537
Aktenzeichen
EP07706561
Anmeldetag
11. Januar 2007
Veröffentlichung
17. Juli 2008
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/063G03F7/20H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Advantest Corporation
Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Advantest

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.

610 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von

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