Integrated inspection system and defect correction method

WO2008085156 Art A1 17. Juli 2008

Anmelder: GENERAL ELECTRIC COMPANY, General Electric Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008085156
Aktenzeichen: EP07748829
Anmeldetag: 8. Januar 2007
Veröffentlichung: 17. Juli 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/95H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: GENERAL ELECTRIC COMPANY
General Electric Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 General Electric

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Massachusetts. Historisch aktiv in Energieerzeugung, Luftfahrttriebwerken, Medizintechnik und Industrietechnik über verschiedene Geschäftsbereiche.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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