A self-aligned patterning method by using non-conformal film and etch back for flash memory and other semiconductor applications

WO2008086039 Art A1 17. Juli 2008

Anmelder: Spansion LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008086039
Aktenzeichen: EP08705566
Anmeldetag: 10. Januar 2008
Veröffentlichung: 17. Juli 2008
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/8246H01L27/115

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Spansion LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Spansion

Spansion war ein US-amerikanischer Halbleiterhersteller, der auf Flash-Speicher spezialisiert war und später in Cypress Semiconductor aufging. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Datenspeichertechnik, ergänzt um Software. Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2014.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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