Methods and systems for using electrical information for a device being fabricated on a wafer to perform one or more defect-related functions

WO2008086282 Art A2 17. Juli 2008

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008086282
Aktenzeichen: EP08713621
Anmeldetag: 7. Januar 2008
Veröffentlichung: 17. Juli 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/95G01N21/956G01R31/307G01R31/311G03F7/20G06T7/20H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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