Tunable megasonics cavitation process using multiple transducers for cleaning nanometer particles without structure damage

WO2008086479 Art A2 17. Juli 2008

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008086479
Aktenzeichen: EP08727537
Anmeldetag: 10. Januar 2008
Veröffentlichung: 17. Juli 2008
Rechtsraum: WO
IPC: C25F5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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