Method for silicon thin film formation
WO2008087775
Art A1
24. Juli 2008
Anmelder: Nissin Electric Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2008087775
- Aktenzeichen
- EP07830729
- Anmeldetag
- 29. Oktober 2007
- Veröffentlichung
- 24. Juli 2008
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/205H01L21/336H01L29/786H05H1/46
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nissin Electric Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nissin Electric
Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.
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