Radiation-sensitive resin composition for immersion exposure and method of forming photoresist pattern

WO2008087840 Art A1 24. Juli 2008

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008087840
Aktenzeichen: EP07860245
Anmeldetag: 26. Dezember 2007
Veröffentlichung: 24. Juli 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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