Electrolysis apparatus and electrolysis method for sulfuric acid, and apparatus for processing substrate

WO2008087902 Art A1 24. Juli 2008

Anmelder: Shibaura Mechatronics Corporation, Kabushiki Kaisha Toshiba, CHLORINE ENGINEERS CORP., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008087902
Aktenzeichen: EP08703127
Anmeldetag: 11. Januar 2008
Veröffentlichung: 24. Juli 2008
Rechtsraum: WO
IPC: C25B1/28H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Shibaura Mechatronics Corporation
Kabushiki Kaisha Toshiba
CHLORINE ENGINEERS CORP., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toshiba

Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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