High throughput, low cost dual-mode patterning method for large area substrates

WO2008088587 Art A1 24. Juli 2008

Anmelder: The Board of Trustees of the University of Illinois, Anvik Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008088587
Aktenzeichen
EP07842523
Anmeldetag
14. September 2007
Veröffentlichung
24. Juli 2008
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/302
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
The Board of Trustees of the University of Illinois
Anvik Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Board of Trustees of the University of Illinois

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