Scanner based optical proximity correction system and method of use

WO2008089222 Art A1 24. Juli 2008

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON PRECISION INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008089222
Aktenzeichen: EP08705944
Anmeldetag: 16. Januar 2008
Veröffentlichung: 24. Juli 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G06F9/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON PRECISION INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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