Surface Micromachined Optical Force Sensor Enhancement Via Compliant Mechanisms

WO2008089246 Art A2 24. Juli 2008

Anmelder: University of Florida Research Foundation, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008089246
Aktenzeichen
EP08727741
Anmeldetag
16. Januar 2008
Veröffentlichung
24. Juli 2008
Rechtsraum
WO
IPC
G01J9/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
University of Florida Research Foundation, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 University of Florida Research Foundation

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